반도체 및 FPD 제조 공정을 대표로
타입별 라인업
자기 베어링 바카라 규칙
바카라 규칙별 배치형
- 네트워크 연결 지원
- 각종 모니터 기능
(바카라 규칙부) - 커플링 프리
- 풍부한 라인업
복합 베어링 바카라 규칙
바카라 규칙 일체형
- 자기 베어링과 세라믹 베어링에 의한 저진동
- 높은 배압, 높은 수소 압축비
- 절전
- 전방위 장착 가능
자기 베어링 바카라 규칙
바카라 규칙별 배치형
- 네트워크 연결 지원
- 각종 모니터 기능
(바카라 규칙부) - 커플링 프리
- 풍부한 라인업
복합 베어링 바카라 규칙
바카라 규칙 일체형
- 자기 베어링과 세라믹 베어링에 의한 저진동
- 높은 배압, 높은 수소 압축비
- 절전
- 전방위 장착 가능
모델 번호별 라인업
복합 베어링 바카라 규칙
자기 베어링 바카라 규칙
바카라 규칙별 라인업
| 플랜지 구경(mm) | ≤100 | 150 | 200 | 250 | 300 | 350 | 400 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 바카라 규칙 | 유형 | |||||||
| CVD, 에칭 |
대용량 케미컬 유형 |
X4304 |
||||||
|
에칭 |
반응 생성물 대응 유형 |
|||||||
| 이온 주입, CVD, 에칭 |
광역 수냉 케미컬 유형 |
X4304 |
||||||
| PVD, 검사 장비 |
공냉형 | |||||||
| 광역 수냉 타입 | ||||||||
| 에너지 절약 배기 시스템 |
높은 배압 |
W2404 LMC |
W3503 LMC |
|||||
| 초고진공 배기 | 높은 압축비 유형 |
H3153 |
||||||