표준 사양
바카라 꽁 머니※1 | TMP-V4404LMW | |
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흡입구측 플랜지 | VG350 | |
바카라 꽁 머니 측 플랜지 | KF40 | |
냉각 방법 | 수냉 | |
도착 압력 (베이킹 후) | 10-7Pa 주문 | |
바카라 꽁 머니의 최대 허용 유량※2 | 1450 mL/min | |
N2연속 운전 시 최대 흡입구 압력※3 | 40 Pa | |
N2연속 운전 시 최대 바카라 꽁 머니 압력※3 | 170 Pa | |
배기 속도※4 | N2 | 4050 L/s |
바카라 꽁 머니 | L/s | |
압축비 | N2 | 1.5×107 |
He | 4.0×103 | |
H2 | 4.4×102 | |
규정 회전수 | 24000rpm | |
시작 시간 | 12분 이내 | |
설치 방향 | 전방위 장착 가능 | |
진동 [당사 측정 방법에 따른] | 0.01 μm 이하 (편진폭) | |
권장 가스 퍼지 유량※2 | 30 mL/min | |
가스 퍼지 시 권장 보조 바카라 꽁 머니의 배기 속도 | 1500 L/min 이상 | |
허용 주변 온도 | 10~40℃ | |
허용 자속 밀도 | 반경방향 | 3 mT |
축 방향 | 15 mT | |
냉각수※5 | 유량 | 3~4 L/min |
수압 | 0.2 ~ 0.4 MPa | |
수온 | 19~30℃(노점 이상) | |
보기 | 램프 | POWER/STATUS/ROTATION/NET |
외부 제어 | 접점 입출력 | REMOTE(D-sub 25핀 암컷 |
입력: ST바카라 꽁 머니T/STOP/RESET/LOW SPEED/ | ||
/BRAKE/NORMAL/REMOTE/AL바카라 꽁 머니M/W바카라 꽁 머니NING/CONNECTION | ||
직렬 인터페이스 | RS-232C / RS-485(D-sub 9핀 수) | |
회전 가변 | 바카라 꽁 머니 규정 회전수 75%~100% 사이 | |
입력 전원 | 전압※6 | 단상 AC 200~240V(50/60Hz) |
소요 전력 | 1.2 kVA | |
질량 | 98kg |