표준 사양
| 바카라 사이트※1 | TMP-X1205LM | ||
|---|---|---|---|
| 흡입구측 플랜지 | VG150 | ISO160B | |
| 바카라 사이트 측 플랜지 | KF40 | ||
| 도착 압력(베이킹 후) | 10-7Pa 주문 | ||
| Ar의 최대 허용 유량※2 ※3 | 850 mL/min | ||
| N2운전 시 최대 흡입구 압력 | 28 Pa | ||
| N2운전 시 최대 바카라 사이트 압력 | 266 Pa | ||
| 배기 속도※4 | N2 | 1080 L/s | 950 L/s |
| Ar | 1020 L/s | 890 L/s | |
| H2 | 710 L/s | 680 L/s | |
| 압축비 | N2 | 2×108 | |
| H2 | 8×102 | ||
| 규정 회전수 | 37200 rpm | ||
| 시작 시간 | 8분 이내 | ||
| 설치 방향 | 전방위 장착 가능 | ||
| 진동[당사 측정 방법에 따른] | 0.01 μm 이하(편진폭) | ||
| 권장 가스 퍼지 유량※2 | 30 mL/min | ||
| 가스 퍼지 시 권장 보조 바카라 사이트의 배기 속도 | 600 L/min 이상 | ||
| 허용 주변 온도 | 10~40℃ | ||
| 허용 자속 밀도 | 반경방향 | 3 mT | |
| 축 방향 | 15 mT | ||
| 냉수 | 유량 | 3 L/min 이상 | |
| 수압 | 0.2~0.5 MPa | ||
| 수온 | 19~30℃(노점 이상) | ||
| 보기 | 램프 | POWER/NORMAL/ALARM | |
| 외부 제어 | 접점 입출력 | REMOTE(D-sub 25핀 암 커넥터) | |
| 입력: START/STOP/RESET/LOW SPEED | |||
| 출력: ROTATION/NORMAL/ACCELERATION/BRAKE/ | |||
| 직렬 인터페이스 | RS-232C/RS-485(2선식) | ||
| 회전 가변 | 바카라 사이트 규정 회전수의 25%~100% 사이 | ||
| 입력 전원 | 전압 | 단상 AC 200~240V(50/60Hz) | |
| 소요 전력 | 0.75 kVA | ||
| 질량 | 43kg | ||
- ※1: 제품에 의해 바카라 사이트가 고장날 가능성이 있으므로 부식성 가스를 흘리지 마십시오
- 1기압에서 체적 유량으로 표시 중
- '가스 퍼지 유량' 및 '바카라 사이트 압력'에 따라 달라집니다
- ※4:보호망이 없는 경우의 값입니다2ISO160B: 900 L/s입니다