바카라 사이트 본체 표준 사양
| 형명 | TMP-B300 | |||
|---|---|---|---|---|
| 냉각 방법 | 자연 공냉 | 강제 공냉 | 수냉※1 | |
| 도착 압력※3 | 베이킹 후 | ※2 | 10-8Pa 주문※3 | 10-8Pa 주문※3 |
| 베이킹 전 | 10-6Pa 주문 | 10-6Pa 주문 | 10-6Pa 주문 | |
| 배기 속도※4 | N2 | 280L/s | 280L/s | 280 L/s |
| He | 270L/s | 270L/s | 270 L/s | |
| H2 | 220L/s | 220L/s | 220 L/s | |
| 최대 압축비 | N2 | 1×109 | 1×109 | 1×109 |
| He | 7×106 | 7×106 | 7×106 | |
| H2 | 1×105 | 1×105 | 1×105 | |
| 임계 배압 | 1300Pa | 1300Pa | 1300 Pa | |
| 연속 운전 가능 최대 배기구 압력※5 |
N2 | 100Pa (바카라 사이트 이하) |
1000 Pa (주위 온도 25℃ 이하) 930 Pa (바카라 사이트 이하) |
1300 Pa (주위 온도 40℃ 이하) |
| 연속 운전 가능 N2가스 유량 |
10 SCCM (주위 온도 25℃) 4 SCCM (바카라 사이트) |
100 SCCM (주위 온도 25℃) 40 SCCM (바카라 사이트) |
240 SCCM (주위 온도 40℃ 이하) |
|
| 질량 | ICF | 9.4 kg | 9.7 kg | 10.1 kg |
| VG | 6.3kg | 6.6kg | 7.0 kg | |
| ISO | 6.0kg | 6.3kg | 6.7kg | |
| KF | － | － | － | |
| 바카라 사이트 방식 | 반발식 자기 바카라 사이트, 세라믹 볼 바카라 사이트 | |||
| 흡기구 플랜지 | VG100, ICF152, ISO100 | |||
| 배기구 플랜지 | KF16 | |||
| 규정 회전수 | 60000rpm | |||
| 시작 시간(80%까지) | 3.5분 | |||
| 설치 방향 | 전방위 | |||
| 소음 [당사 측정 방법에 따른]※6 |
50 dB(A) 미만 | |||
| 허용 자속 밀도 | 반경 방향 | 3mT | ||
| 축 방향 | 15 mT | |||
| 바카라 사이트 |
전압 | DC24 V ±5% | ||
| 최대 소요 전력 | 180W | |||
- ※1: 냉각수 온도: 이슬점 이상
※2: 베이킹은 ICF 플랜지의 강제 공냉 및 수냉 사양 시에만 실시 가능합니다 - ※3: 보조 바카라 사이트에 2단식 오일 회전 바카라 사이트(시마즈산기 시스템즈사 제조)를 사용한 경우의 값입니다
- ※4:보호망이 없는 경우의 값입니다.
보호 그물을 사용하는 경우 N2가스에 대한 배기 속도는 260L/s입니다 - ※5: 흡기구로부터의 배기 가스 유량 0 mL/min의 경우에 연속 운전 가능한 값입니다
- ※6:ISO 플랜지 사양에서의 측정값입니다.