라이트닝 바카라 본체 표준 사양
| 터보 분자 라이트닝 바카라 | TMP-2804LMC | TMP-2804LMTC | |||
|---|---|---|---|---|---|
| 흡입구측 플랜지 | VG250 | ISO250B | VG250 | ISO250B | |
| 라이트닝 바카라 측 플랜지 | KF40 | ||||
| 냉각 방법 | 수냉 | ||||
| 도착 압력(베이킹 후) | 10-7Pa 주문 | ||||
| Ar의 최대 허용 라이트닝 바카라 | 1900 mL/min※1 ※2 | 1000 mL/min (설정 온도: 65°C)※1 ※4 |
|||
| 연속 운전 시 최대 흡입구 압력 | 40 Pa | ||||
| 연속 운전 시 최대 라이트닝 바카라 | 270 Pa | ||||
| 라이트닝 바카라※3 | N2 | 2800 L/s | 2500 L/s | 2800 L/s | 2500 L/s |
| Ar | 2700 L/s | 2400 L/s | 2700 L/s | 2400 L/s | |
| H2 | 2100 L/s | 2000 L/s | 2100 L/s | 2000 L/s | |
| He | 2800 L/s | 2600 L/s | 2800 L/s | 2600 L/s | |
| 압축비 | N2 | 1×109이상 | |||
| He | 1×105 | ||||
| H2 | 6×103 | ||||
| 규정 회전수 | 27600 rpm | ||||
| 시작 시간 | 12분 이내 | ||||
| 설치 방향 | 전방위 장착 가능 | ||||
| 진동[당사 측정 방법에 따른] | 0.01 μm 이하(편진폭) | ||||
| 권장 가스 퍼지 라이트닝 바카라※1 | 30 mL/min | ||||
| 가스 퍼지 시 권장 보조 라이트닝 바카라의 배기 속도 | 1500 L/min 이상 | ||||
| 설정 온도※5 | － | 65℃, 75℃ | |||
| 허용 주위 온도 | 0~40℃ | 10 ~ 40℃ | |||
| 허용 자속 밀도 | 반경 방향 | 3mT | |||
| 축 방향 | 15 mT | ||||
| 냉수 | 라이트닝 바카라 | 2~4 | |||
| 수압 | 0.2 ~ 0.5 MPa | 0.2 ~ 0.4 MPa | |||
| 수온 | 5~25 | ||||
| 질량 | 84kg | ||||
- 1기압에서 체적 라이트닝 바카라으로 표시 중
- '가스 퍼지 라이트닝 바카라' 및 '배기구 압력'에 따라 달라집니다
- ※3: 보호망이 없는 경우의 값입니다2가스에 대한 라이트닝 바카라는 VG250: 2550 L/s
- '가스 퍼지 라이트닝 바카라' 및 '배기구 압력'에 따라 달라집니다
- 히터는 설정 온도 -5℃에서 ON/OFF합니다
전원 공급 장치 표준 사양
| 전원 장치 | EI-R04M | EI-R04MT | |
|---|---|---|---|
| 배터리 | 불필요 | ||
| 라이트닝 바카라 온도 조절 설정 온도 | － | 65℃, 75℃ | |
| 조합 호환성 | 제어 케이블 조합 호환 가능 | 온조 케이블 조합 호환 가능 | |
| 회전 가변 | 규정 회전수의 25%~100% 사이 | ||
| 외부 제어 | 접점 입출력 | REMOTE (MR-34) | |
| 입력 : START / STOP / RESET / LOW SPEED | |||
| /BRAKE/NORMAL/REMOTE/ALARM/WARNING | /BRAKE/NORMAL/REMOTE/ | ||
| 직렬 인터페이스 | 전면 패널: RS-232C(D-sub 9핀 수컷 | ||
| 후면 패널: RS-485(D-sub 9핀 암컷 | |||
| 허용 주위 조건 | 온도 | 작동 시 0 ~ 45℃ (단 결로하지 않을 것) | |
| 습도 | 40~80%RH | ||
| 입력 전원 | 전압 | 단상 AC 200~240V(50/60Hz) | |
| 소요 전력 | 1.5 kVA | 2.0 kVA | |
| 질량 | 8kg | ||