자기 베어링형 바카라 족보 전원 일체형TMP-V2304

표준 사양

바카라 족보※1 TMP-V2304LM
흡기구측 플랜지 VG250/ISO250B
바카라 족보 측 플랜지 KF40
냉각 방법 수냉
도착 압력 (베이킹 후) 10-7Pa 주문
Ar의 최대 허용 유량※2 600 mL/min
N2연속 운전 시 최대 흡입구 압력 4.5 Pa
N2연속 운전 시 최대 바카라 족보 압력 200 Pa
배기 속도※4 N2 2100 L/s
Ar 2000 L/s
압축비 N2 1×108이상
He 5×103
H2 9×102
규정 회전수 33700rpm
시작 시간 9분 이내
설치 방향 전방위 장착 가능
진동 [당사 측정 방법에 따른] 0.01 μm 이하 (편진폭)
권장 가스 퍼지 유량※2 30 mL/min
가스 퍼지 시 권장 보조 바카라 족보의 배기 속도 1500 L/min 이상
허용 주변 온도 10~40℃
허용 자속 밀도 반경방향 3 mT
축 방향 15 mT
냉수 유량 3~4 L/min
수압 0.2 ~ 0.4 MPa
수온 19~30℃(노점 이상)
보기 램프 POWER/STATUS/ROTATION/NET
외부 제어 접점 입출력 REMOTE(D-sub 37핀 암컷
입력: START/STOP/RESET/LOW SPEED
/BRAKE/NORMAL/REMOTE/ALARM/WARNING/CONNECTION
직렬 인터페이스 RS-232C / RS-485(D-sub 9핀 수)
회전 가변 바카라 족보 규정 회전수 25%~100% 사이에서
입력 전원 전압 단상 AC 200~240V(50/60Hz)
소요 전력 1.2 kVA
질량 56kg
  • ※1: 제품에 의해 바카라 족보가 고장날 가능성이 있으므로 부식성 가스를 흘리지 마십시오
  • 1기압에서 체적 유량으로 표시 중
  • '가스 퍼지 유량' 및 '바카라 족보 압력'에 따라 달라집니다
  • ※4:보호망이 없는 경우의 값입니다2가스에 대한 배기 속도는 1950 L/s입니다

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