표준 사양
| 터보 분자 바카라 배팅 전략 | TMP-X2905LMC | TMP-X2905LMTC | |
|---|---|---|---|
| 흡입구측 플랜지 | VG250/ISO250B | ||
| 바카라 배팅 전략 측 플랜지 | KF40 | ||
| 냉각 방법 | 수냉 | ||
| 도착 압력 (베이킹 후) | 10-7Pa 주문 | ||
| Ar의 최대 허용 유량 | 1300 mL/min※1 ※2 | 800 mL/min(설정 온도: 65℃)※1 ※4 | |
| N2연속 운전 시 최대 흡입구 압력 | 40 Pa | ||
| N2연속 운전 시 최대 바카라 배팅 전략 | 270 Pa | ||
| 배기 속도※3 | N2 | 2500 L/s | |
| Ar | 2400 L/s | ||
| H2 | 1900 L/s | ||
| 압축비 | N2 | 2×108 | |
| H2 | 1×103 | ||
| 규정 회전수 | 27600rpm | ||
| 시작 시간 | 12분 이내 | ||
| 설치 방향 | 전방위 장착 가능 | ||
| 진동 [당사 측정 방법에 따른] | 0.05 μm 이하(편진폭) | ||
| 온도 제어 설정 온도 | - | 65℃, 75℃※5 | |
| 권장 가스 퍼지 유량※1 | 30 mL/min | 30 ~ 100 mL/min | |
| 가스 퍼지 시 권장 보조 바카라 배팅 전략의 배기 속도 | 2000 L/min 이상 | ||
| 허용 주변 온도 | 10~40℃ | ||
| 허용 자속 밀도 | 반경방향 | 3 mT | |
| 축 방향 | 15 mT | ||
| 냉수 | 유량 | 3 L/min 이상 | |
| 수압 | 0.2 ~ 0.4 MPa | ||
| 수온 | 19~30℃(노점 이상) | ||
| 보기 | 램프 | POWER/ROTATION/ALARM | POWER/ROTATION/TEMP |
| 외부 제어 | 접점 입출력 | REMOTE(D-sub 25핀 암 커넥터) | |
| 입력: START/STOP/RESET/LOW SPEED | |||
| 출력: ROTATION/NORMAL/ACCELERATION/BRAKE/ | 출력: ROTATION/NORMAL/ACCELERATION/BRAKE/ | ||
| 직렬 인터페이스 | RS-232C/RS-485(2선식) | ||
| 회전 가변 | 바카라 배팅 전략 규정 회전수의 25%~100% 사이 | ||
| 입력 전원 | 전압 | 단상 AC 200~240V(50/60Hz) | |
| 소요 전력 | 1.7 kVA | 2.1 kVA | |
| 질량 | 100kg | ||
- 1기압에서 체적 유량으로 표시 중
- '가스 퍼지 유량' 및 '바카라 배팅 전략'에 따라 달라집니다
- ※3:보호망이 없는 경우의 값입니다2가스에 대한 배기 속도는 2300
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- 바카라 배팅 전략부 온도 조절 밸브로 냉각수를 켜는 온도입니다