자기 베어링형 터보 분자 라이트닝 바카라TMP-303

라이트닝 바카라 본체 표준 사양

터보 분자 라이트닝 바카라 TMP-303LM TMP-303LMC TMP-303M TMP-303MC
흡입구측 플랜지 VG100/ICF152/ISO100B/ISO100C
라이트닝 바카라 측 플랜지 KF25
냉각 방법 수냉 공냉
도착 압력(베이킹 후)※1 10-8Pa 주문 10-7Pa 주문 10-8Pa 주문 10-7Pa 주문
N2연속 운전 시 최대 흡입구 압력 200 Pa 1.3 Pa
연속 운전 시 최대 라이트닝 바카라 압력 400 Pa 40 Pa
라이트닝 바카라※2 N2 320 L/s
He 340 L/s
H2 320 L/s
압축비 N2 1×109
He 8×104
H2 1×104
라이트닝 바카라 45000 rpm
시작 시간 5분 이내
설치 방향 전방위 장착 가능
라이트닝 바카라 흡입구 베이킹 온도 120℃ 이하
진동[당사 측정 방법에 따른] 0.012 μm 이하(편진폭)
권장 가스 퍼지 유량 20 ~ 30 mL/min※3
가스 퍼지 시 권장 보조 라이트닝 바카라의 배기 속도 200 L/min 이상
허용 주위 온도 0~40℃
허용 자속 밀도 반경방향 3mT
축 방향 15 mT
냉각수 유량 1 ~ 3 L/min
수압 0.2 ~ 0.5 MPa
수온 5~30℃
질량 14kg
  • ※1: 흡기구 플랜지에 금속 개스킷을 사용한 경우의 값입니다-7Pa 주문이 됩니다.
  • ※2: 보호망이 없는 경우의 값입니다2가스에 대한 라이트닝 바카라는 300L/s입니다
  • 1기압에서 체적 유량으로 표시 중

전원 공급 장치 표준 사양

전원 장치 EI-S04M
배터리 불필요
조합 호환성 팬 케이블 조합 호환 가능
회전 가변 라이트닝 바카라의 25%~100% 사이
외부 제어 접점 입출력 REMOTE(MR-34)
입력: START/STOP/RESET/LOW SPEED
/BRAKE/NORMAL/REMOTE/ALARM/WARNING
직렬 인터페이스 전면 패널: RS-232C(D-sub 9 핀 수컷)
후면 패널: RS-485(D-sub 9 핀 암컷
허용 주위 조건 온도 작동 시 0 ~ 45℃ (단 결로하지 않을 것)
습도 40~80%RH
입력 전원 전압 단상 AC 100 ~ 120 V ± 10% (50/60 Hz ± 2Hz)
단상 AC 200 ~ 240 V ± 10% (50/60 Hz ± 2Hz)
소요 전력 550VA
질량 8kg

반응 라이트닝 바카라 대응형(온도 조절 기능 포함)도 준비 가능