바카라 후기 본체 표준 사양
| 터보 분자 바카라 후기 | TMP-1303LM(0) | TMP-1303LMC(0) | |
|---|---|---|---|
| 흡기구측 플랜지 | VG200/ICF253/ISO200B | ||
| 바카라 후기구 측 플랜지 | KF40 | ||
| 냉각 방법 | 수냉 | ||
| 도착 압력 (베이킹 후)※1 | 10-8Pa 주문 | 10-7Pa 주문 | |
| Ar의 최대 허용 바카라 후기 | 500 mL/min※2 | 800 mL/min | |
| N2연속 운전 시 최대 흡입구 압력 | 133 Pa | ||
| 연속 운전 시 최대 바카라 후기구 압력 | 270 Pa | ||
| 바카라 후기※3 | N2 | 1300 L/s | |
| He | 1050 L/s | ||
| H2 | 750 L/s | ||
| 압축비 | N2 | 6×108 | |
| He | 1×104 | ||
| H2 | 1×103 | ||
| 규정 회전수 | 30300rpm | ||
| 시작 시간 | 7분 이내 | ||
| 설치 방향 | 전방위 장착 가능 | ||
| 바카라 후기 흡입구 베이킹 온도 | 120℃ 이하 | ||
| 진동 [당사 측정 방법에 따른] | 0.01 μm 이하 (편진폭) | ||
| 권장 가스 퍼지 바카라 후기 | 20 ~ 30 mL/min※2 | ||
| 가스 퍼지 시 권장 보조 바카라 후기의 배기 속도 | 600 L/min 이상 | ||
| 허용 주변 온도 | 0~40℃ | ||
| 허용 자속 밀도 | 반경방향 | 3 mT | |
| 축 방향 | 15 mT | ||
| 냉수 | 바카라 후기 | 1 ~ 3 L/min | |
| 수압 | 0.2 ~ 0.5 MPa | ||
| 수온 | 5~30℃ | ||
| 질량 | 39kg | ||
- ※1: 흡기구 플랜지에 금속 개스킷을 사용한 경우의 값입니다
O-링 개스킷을 사용한 경우-7Pa 주문이 됩니다. - 1기압에서 체적 바카라 후기으로 표시 중
- ※3:보호망이 없는 경우의 값입니다2가스에 대한 바카라 후기는 1130L/s입니다
전원 장치 표준 사양
| 전원 장치 | EI-R04M | |
|---|---|---|
| 배터리 | 불필요 | |
| 조합 호환성 | 모터 케이블 조합 호환 가능 | |
| 회전 가변 | 규정 회전수의 25%~100% 사이 | |
| 외부 제어 | 접점 입출력 | REMOTE (MR-34) |
| 입력 : START / STOP / RESET / LOW SPEED | ||
| /BRAKE/NORMAL/REMOTE/ALARM/WARNING | ||
| 직렬 인터페이스 | 프런트 패널 : RS-232C (D-sub 9 핀 수컷 | |
| 후면 패널 : RS-485 (D-sub 9 핀 암컷 | ||
| 허용 주위 조건 | 온도 | 작동 시 0 ~ 45℃ (단 결로하지 않을 것) |
| 습도 | 40~80%RH | |
| 입력 전원 | 전압 | 단상 AC 200 ~ 240 V ± 10% (50/60 Hz ± 2Hz) |
| 소요 전력 | 1.0 kVA | |
| 질량 | 8kg | |