바카라 루쥬 540 본체 표준 사양
| 터보 분자 바카라 루쥬 540 | TMP-203LM | TMP-203LMC | TMP-203M | TMP-203MC | |
|---|---|---|---|---|---|
| 흡입구측 플랜지 | VG100/ICF152/ISO100B/ISO100C | ||||
| 바카라 루쥬 540 측 플랜지 | KF25 | ||||
| 냉각 방법 | 수냉 | 공냉 | |||
| 도착 압력 (베이킹 후)※1 | 10-8Pa 주문 | 10-7Pa 주문 | 10-8Pa 주문 | 10-7Pa 주문 | |
| N2연속 운전 시 최대 흡입구 압력 | 200 Pa | 1.3 Pa | |||
| 연속 운전 시 최대 바카라 루쥬 540 압력 | 400 Pa | 40 Pa | |||
| 바카라 루쥬 540※2 | N2 | 190 L/s | |||
| He | 140 L/s | ||||
| H2 | 120 L/s | ||||
| 압축비 | N2 | 1×109 | |||
| He | 6×104 | ||||
| H2 | 4×103 | ||||
| 바카라 루쥬 540 | 50000 rpm | ||||
| 시작 시간 | 5분 이내 | ||||
| 설치 방향 | 전방위 장착 가능 | ||||
| 바카라 루쥬 540 흡입구 베이킹 온도 | 120℃ 이하 | ||||
| 진동[당사 측정 방법에 따른] | 0.012 μm 이하(편진폭) | ||||
| 권장 바카라 루쥬 540 유량 | 20 ~ 30 mL/min※3 | ||||
| 가스 퍼지 시 권장 보조 바카라 루쥬 540의 배기 속도 | 200 L/min 이상 | ||||
| 허용 주위 온도 | 0~40℃ | ||||
| 허용 자속 밀도 | 반경방향 | 3mT | |||
| 축 방향 | 15 mT | ||||
| 냉각수 | 유량 | 1 ~ 3 L/min | ― | ||
| 수압 | 0.2 ~ 0.5 MPa | ||||
| 수온 | 5~30℃ | ||||
| 질량 | 9kg | ||||
- ※1: 흡기구 플랜지에 금속 개스킷을 사용한 경우의 값입니다-7Pa 주문이 됩니다.
- ※2: 보호망이 없는 경우의 값입니다2가스에 대한 바카라 루쥬 540는 180L/s입니다
- 1기압에서 체적 유량으로 표시 중
전원 공급 장치 표준 사양
| 전원 장치 | EI-S04M | |
|---|---|---|
| 배터리 | 불필요 | |
| 조합 호환성 | 팬 케이블 조합 호환 가능 | |
| 회전 가변 | 바카라 루쥬 540의 25%~100% 사이 | |
| 외부 제어 | 접점 입출력 | REMOTE(MR-34) |
| 입력: START/STOP/RESET/LOW SPEED | ||
| /BRAKE/NORMAL/REMOTE/ALARM/WARNING | ||
| 직렬 인터페이스 | 프런트 패널: RS-232C(D-sub 9 핀 수컷) | |
| 후면 패널: RS-485(D-sub 9핀 메스) | ||
| 허용 주위 조건 | 온도 | 작동 시 0 ~ 45℃ (단 결로하지 않을 것) |
| 습도 | 40~80%RH | |
| 입력 전원 | 전압 | 단상 AC 100 ~ 120 V ± 10%(50/60 Hz ± 2Hz) |
| 단상 AC 200 ~ 240 V ± 10%(50/60 Hz ± 2Hz) | ||
| 소요 전력 | 450VA | |
| 질량 | 8kg | |