마그네틱 베어링형 터보 분자 펌프 라이트닝 바카라 별 배치형

주요 모델

TMP-5305

특징:

• 반응 생성물 대응
  반도체 에칭 또는 액정 에칭에서 발생하는 반응 생성물에 대해
  (자세한 사양은 별도로 문의하세요
• 새 필드 네트워크 지원
  RS-232C 및 RS-485 시리얼 통신 외에 EtherCAT 통신도 선택할 수 있습니다

압도적인 라이트닝 바카라 유량

종래 터보 분자 펌프의 30% 성능 향상을 달성했습니다

산업 최고의 라이트닝 바카라 속도^※

에칭 공정을 위한 최고의 라이트닝 바카라 속도를 달성했습니다

• ※식각 공정을 위한 당사 조사

TMP-04 시리즈

뛰어난 라이트닝 바카라과 높은 에너지 절약 성능을 갖추고 있습니다
대량의 가스를 안정적으로 연속 라이트닝 바카라할 수 있습니다

특징:

• 반응 생성물 대응
  반도체 에칭 또는 액정 에칭에서 발생하는 반응 생성물에 대해
  (자세한 사양은 별도로 문의하세요

라이트닝 바카라 향상

종래 기종보다 1~5Pa 영역에서의 라이트닝 바카라 속도를 대폭 향상했습니다
대량의 가스를 도입할 수 있습니다

컴팩트하고 높은 기능

2종류의 라이트닝 바카라으로 03시리즈・04시리즈 모든 펌프에 대응 가능
케이블(길이 3~30m)의 조합을 변경해도