표준 사양
| 바카라 족보※1 | TMP-V3304LM (0) | TMP-V3304LM | |
|---|---|---|---|
| 흡기구측 플랜지 | VG300 | ISO320B/VG350 | |
| 바카라 족보 측 플랜지 | KF40 | ||
| 냉각 방법 | 수냉 | ||
| 도착 압력(베이킹 후) | 10-7Pa 주문 | ||
| Ar의 최대 허용 유량※2 ※3 | 1500 mL/min | ||
| N2연속 운전 시 최대 흡입구 압력 | 7 Pa | ||
| N2연속 운전 시 최대 바카라 족보 압력 | 270 Pa | ||
| 배기 속도※4 | N2 | 3200 L/s | |
| Ar | 3100 L/s | ||
| 압축비 | N2 | 1×109이상 | |
| He | 1×105 | ||
| H2 | 6×103 | ||
| 규정 회전수 | 27600rpm | ||
| 시작 시간 | 16분 이내 | ||
| 설치 방향 | 전방위 장착 가능 | ||
| 진동 [당사 측정 방법에 따른] | 0.01 μm 이하 (편진폭) | ||
| 권장 가스 퍼지 유량※2 | 30 mL/min | ||
| 가스 퍼지 시 권장 보조 바카라 족보의 배기 속도 | 1500 L/min 이상 | ||
| 허용 주변 온도 | 10~40℃ | ||
| 허용 자속 밀도 | 반경방향 | 3 mT | |
| 축 방향 | 15 mT | ||
| 냉각수 | 유량 | 3~4 L/min | |
| 수압 | 0.2 ~ 0.4 MPa | ||
| 수온 | 19~30℃(노점 이상) | ||
| 보기 | 램프 | POWER/STATUS/ROTATION/NET | |
| 외부 제어 | 접점 입출력 | REMOTE(D-sub 37핀 암컷 | |
| 입력: START/STOP/RESET/LOW SPEED | |||
| /BRAKE/NORMAL/REMOTE/ALARM/WARNING/CONNECTION | |||
| 직렬 인터페이스 | RS-232C / RS-485(D-sub 9핀 수컷 | ||
| 회전 가변 | 바카라 족보 규정 회전수의 25%~100% 사이 | ||
| 입력 전원 | 전압 | 단상 AC 200~240V(50/60Hz) | |
| 소요 전력 | 1.2 kVA | ||
| 질량 | 94kg | ||
- ※1: 제품에 의해 바카라 족보가 고장날 가능성이 있으므로 부식성 가스를 흘리지 마십시오
- 1기압에서 체적 유량으로 표시 중
- '가스 퍼지 유량' 및 '바카라 족보 압력'에 따라 달라집니다
- ※4:보호망이 없는 경우의 값입니다2가스에 대한 배기 속도는 2900 L/s입니다