에볼루션 바카라 본체 표준 사양
| 터보 분자 에볼루션 바카라 | TMP-1103LMP | TMP-1103LMPC | TMP-1103MP | TMP-1103MPC | |
|---|---|---|---|---|---|
| 에볼루션 바카라측 플랜지 | VG200/ICF253/ISO200B | ||||
| 에볼루션 바카라 측 플랜지 | KF40 | ||||
| 냉각 방법 | 수냉 | 공냉 | |||
| 도착 압력 (베이킹 후)※1 | 10-9Pa 주문 | 10-8Pa 주문 | 10-9Pa 주문 | 10-8Pa 주문 | |
| N2연속운전 시 최대 에볼루션 바카라 압력 | 70 Pa | 1.3 Pa | |||
| 연속 운전 시 최대 에볼루션 바카라 압력 |
800 Pa |
270 Pa | |||
| 에볼루션 바카라 속도※2 | N2 | 1080 L/s | |||
| He | 1040 L/s | ||||
| H2 | 800 L/s | ||||
| 압축비 | N2 | 109 | |||
| He | 107 | ||||
| H2 | 106 | ||||
| 에볼루션 바카라 | 36000rpm | ||||
| 시작 시간 | 5분 이내 | ||||
| 설치 방향 | 전방위 장착 가능 | ||||
| 에볼루션 바카라 흡입구 베이킹 온도 | 120℃ 이하 | ||||
| 진동 [당사 측정 방법에 따른] | 0.01 μm 이하 (편진폭) | ||||
| 권장 가스 퍼지 유량 | 20 ~ 30 mL/min※3 | ||||
| 허용 주변 온도 | 0~40℃ | ||||
| 허용 자속 밀도 | 반경 방향 | 3 mT | |||
| 축 방향 | 15 mT | ||||
| 냉각수 | 유량 | 1~3 | ─ | ||
| 수압 | 0.2~0.5 | ||||
| 수온 | 5~30 | ||||
| 로터의 내식성 코팅 | 없음 | 예 | 없음 | 예 | |
| 질량 |
32 kg 이하 |
||||
- ※1: 흡기구 플랜지에 금속 개스킷을 사용한 경우의 값입니다
O링 가스켓을 사용한 경우-7Pa 주문입니다. - ※2:보호망을 사용한 경우의 값입니다.
- 1기압에서 체적 유량으로 표시 중
전원 공급 장치 표준 사양
| 전원 장치 | EI-R04M | |
|---|---|---|
| 배터리 | 불필요 | |
| 조합 호환성 | 모터 케이블 조합 호환 가능 | |
| 회전 가변 | 에볼루션 바카라의 25%~100% 사이 | |
| 외부 제어 | 접점 입출력 | REMOTE (MR-34) |
| 입력 : START / STOP / RESET / LOW SPEED | ||
| /BRAKE/NORMAL/REMOTE/ALARM/WARNING | ||
| 직렬 인터페이스 | 프런트 패널 : RS-232C (D-sub 9 핀 수컷) | |
| 후면 패널 : RS-485 (D-sub 9 핀 암컷 | ||
| 허용 주위 조건 | 온도 | 작동 시 0 ~ 45℃ (단 결로하지 않을 것) |
| 습도 | 40~80%RH | |
| 입력 전원 | 전압 | 단상 AC 200 ~ 240 V ± 10% (50/60 Hz ± 2Hz) |
| 소요 전력 | 1.0 kVA | |
| 질량 | 8kg | |