라이브 바카라 조작 본체 표준 사양
| 터보 분자 라이브 바카라 조작 | TMP-4805LMC | TMP-4805LMTC | |
|---|---|---|---|
| 흡입구측 플랜지 | VG350 | ||
| 라이브 바카라 조작 측 플랜지 | KF63 | ||
| 냉각 방법 | 수냉 | ||
| 도착 압력(베이킹 후) | 10-7Pa 주문 | ||
| Ar의 최대 허용 라이브 바카라 조작 | 2250 mL/min※1 ※2 | 1000 mL/min (설정 온도: 65°C)※1 ※4 |
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| 연속 운전 시 최대 흡입구 압력 | 15 Pa | ||
| 연속 운전 시 최대 라이브 바카라 조작 | 270 Pa | ||
| 배기 속도※3 | N2 | 4500 L/s | |
| Ar | 4300 L/s | ||
| H2 | 3100 L/s | ||
| 압축비 | N2 | 3×108 | |
| H2 | 2×103 | ||
| 규정 회전수 | 20580rpm | ||
| 시작 시간 | 12분 | ||
| 설치 방향 | 수직 방향만 | ||
| 진동[당사 측정 방법에 따른] | 0.01 μm 이하(편진폭) | ||
| 권장 가스 퍼지 라이브 바카라 조작※1 | 30 ~ 100 mL/min | ||
| 가스 퍼지 시 권장 보조 라이브 바카라 조작의 배기 속도 | 10000 L/min 이상 | ||
| 설정 온도 | － | 65℃, 75℃※5 | |
| 허용 주변 온도 | 0 ~ 40℃ | 10~40℃ | |
| 허용 자속 밀도 | 반경방향 | 3 mT | |
| 축 방향 | 15 mT | ||
| 냉수 | 라이브 바카라 조작 | 4 ~ 6 L/min | |
| 수압 | 0.2 ~ 0.4 MPa | ||
| 수온 | 5~25℃ | 20 ~ 30℃ | |
| 질량 | 180kg | ||
- 1기압에서 체적 라이브 바카라 조작으로 표시 중
- '가스 퍼지 라이브 바카라 조작' 및 '배기구 압력'에 따라 달라집니다
- ※3:보호망이 없는 경우의 값입니다2가스에 대한 배기 속도는 4100L/s입니다
- '가스 퍼지 라이브 바카라 조작' 및 '배기구 압력'에 따라 달라집니다
- 히터는 설정 온도-1℃에서 ON/OFF합니다
전원 장치 표준 사양
| 전원 장치 | EI-A05M | EI-A05MT | |
|---|---|---|---|
| 배터리 | 불필요 | ||
| 라이브 바카라 조작 온도 조절 설정 온도 | － | 65℃, 75℃ | |
| 조합 호환성 | 모터 케이블 조합 호환 가능 | 온조 케이블 조합 호환 가능 | |
| 회전 가변 | 규정 회전수의 25%~100% 사이 (설정은 0.1% 단위) |
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| 외부 제어 | 접점 입출력 | REMOTE(MR-34) | |
| 입력: START/STOP/RESET/LOW SPEED | |||
| /BRAKE/NORMAL/REMOTE/ALARM/WARNING | /BRAKE/NORMAL/REMOTE/ALARM/WARNING/TEMP | ||
| 직렬 인터페이스 | 전면 패널: RS-232C(D-sub 9핀 수컷 | ||
| 후면 패널: RS-485(D-sub 9핀 수컷) | |||
| 옵션: EtherCAT | |||
| 허용 주위 조건 | 온도 | 동작 0 ~ 45℃(단, 결로되지 않을 것) | |
| 습도 | 40~80%RH | ||
| 입력 전원 | 전압 | 단상 AC 200~240V(50/60Hz) | |
| 소요 전력 | 2.4 kVA | 3.3kVA | |
| 질량 | 9kg | ||