바카라 후기 본체 표준 사양
| 터보 분자 바카라 후기 | TMP-4304LMC | TMP-4304LMTC | |
|---|---|---|---|
| 흡기구측 플랜지 | VG350 | ||
| 바카라 후기 측 플랜지 | KF40 | ||
| 냉각 방법 | 수냉 | ||
| 도착 압력(베이킹 후) | 10-7Pa 주문 | ||
| Ar의 최대 허용 바카라 후기※1 ※2 | 2200 mL/min※1 | 1200 mL/min (설정 온도: 65°C)※1 ※2 |
|
| 연속 운전 시 최대 흡입구 압력 | 40 Pa | ||
| 연속 운전 시 최대 바카라 후기 압력 | 270 Pa | ||
| 배기 속도※3 | N2 | 4400 L/s | |
| Ar | 4200 L/s | ||
| H2 | 2600 L/s | ||
| 압축비 | N2 | 1×109이상 | |
| He | 3×104 | ||
| H2 | 2×103 | ||
| 규정 회전수 | 24000rpm | ||
| 시작 시간 | 18분 이내 | ||
| 설치 방향 | 전방위 장착 가능 | ||
| 진동 [당사 측정 방법에 따른] | 0.01 μm 이하(편진폭) | ||
| 추천 가스 퍼지 바카라 후기※1 | 30 mL/min | ||
| 가스 퍼지 시 권장 보조 바카라 후기의 배기 속도 | 1500 L/min 이상 | ||
| 설정 온도※4 | － | 65℃, 75℃ | |
| 허용 주위 온도 | 0 ~ 40℃ | 10~40℃ | |
| 허용 자속 밀도 | 반경 방향 | 3 mT | |
| 축 방향 | 15 mT | ||
| 냉수 | 바카라 후기 | 2~4 L/min | |
| 수압 | 0.2 ~ 0.5 MPa | 0.2 ~ 0.4 MPa | |
| 수온 | 5~25℃ | ||
| 질량 | 105kg | ||
- 1기압에서 체적 바카라 후기으로 표시 중
- '가스 퍼지 바카라 후기' 및 '배기구 압력'에 따라 달라집니다
- ※3:보호망이 없는 경우의 값입니다2가스에 대한 배기 속도는 4000L/s입니다
- 히터는 설정 온도 -5℃에서 ON/OFF합니다
전원 장치 표준 사양
| 전원 장치 | EI-R04M | EI-R04MT | |
|---|---|---|---|
| 배터리 | 불필요 | ||
| 바카라 후기 온도 조절 설정 온도 | － | 65℃, 75℃ | |
| 조합 호환성 | 제어 케이블 조합 호환 가능 | 온조 케이블 조합 호환 가능 | |
| 회전 가변 | 규정 회전수의 25%~100% 사이 | ||
| 외부 제어 | 접점 입출력 | REMOTE(MR-34) | |
| 입력: START/STOP/RESET/LOW SPEED | |||
| /BRAKE/NORMAL/REMOTE/ALARM/WARNING | /BRAKE/NORMAL/REMOTE/ALARM/WARNING/TEMP | ||
| 직렬 인터페이스 | 프런트 패널: RS-232C (D-sub 9 핀 수컷) | ||
| 후면 패널: RS-485 (D-sub 9 핀 암컷 | |||
| 허용 주위 조건 | 온도 | 작동 시 0 ~ 45℃(단, 결로되지 않을 것) | |
| 습도 | 40~80%RH | ||
| 입력 전원 | 전압 | 단상 AC 200 ~ 240 V ± 10% (50/60 Hz) | |
| 소요 전력 | 1.5kVA | 2.0 kVA | |
| 질량 | 8kg | ||