자기 베어링형 터보 분자 바카라 족보TMP-3304(0)

바카라 족보 본체 표준 사양

터보 분자 바카라 족보 TMP-3304LMC (0) TMP-3304LMTC (0)
흡기구측 플랜지 VG300
바카라 족보 측 플랜지 KF40
냉각 방법 수냉
도착 압력 (베이킹 후) 10-7Pa 주문
Ar의 최대 허용 바카라 족보 1900 mL/min※1 ※2 1000 mL/min(설정 온도: 65℃)※1 ※4
연속 운전 시 최대 흡입구 압력 40 Pa
연속 운전 시 최대 바카라 족보 270 Pa
배기 속도※3 N2 3200 L/s
Ar 3100 L/s
H2 2200 L/s
He 3100 L/s
압축비 N2 1×109 이상
He 1×105
H2 6×103
규정 회전수 27600rpm
시작 시간 12분 이내
설치 방향 전방위 장착 가능
진동 [당사 측정 방법에 따른] 0.01 μm 이하 (편진폭)
권장 가스 퍼지 바카라 족보※1 30 mL/min
가스 퍼지 시 권장 보조 바카라 족보의 배기 속도 1500 L/min 이상
설정 온도 65℃, 75℃※5
허용 주변 온도 0 ~ 40℃ 10~40℃
허용 자속 밀도 반경방향 3 mT
축 방향 15 mT
냉수 바카라 족보 2~4 L/min
수압 0.2 ~ 0.5 MPa 0.2 ~ 0.4 MPa
수온 5~25℃
질량 84kg
  • 1기압에서 체적 바카라 족보으로 표시 중
  • '가스 퍼지 바카라 족보' 및 '배기구 압력'에 따라 달라집니다
  • ※3: 보호망이 없는 경우의 값입니다2가스에 대한 배기 속도는 2900 L/s입니다
  • '가스 퍼지 바카라 족보' 및 '배기구 압력'에 따라 달라집니다
  • 히터는 설정 온도 -5℃에서 ON/OFF합니다

전원 공급 장치 표준 사양

전원 장치 EI-R04M EI-R04MT
배터리 불필요
바카라 족보 온도 조절 설정 온도 65℃, 75℃
조합 호환성 제어 케이블 조합 호환 가능 온조 케이블 조합 호환 가능
회전 가변 규정 회전수의 25%~100% 사이
(설정은 0.1% 단위)
외부 제어 접점 입출력 REMOTE (MR-34)
입력: START/STOP/RESET/LOW SPEED
/BRAKE/NORMAL/REMOTE/ALARM/WARNING /BRAKE/NORMAL/REMOTE/ALARM/WARNING/TEMP
직렬 인터페이스 전면 패널: RS-232C (D-sub 9 핀 수컷)
후면 패널: RS-485 (D-sub 9 핀 암컷
허용 주위 조건 온도 작동 시 0 ~ 45℃ (단 결로하지 않을 것)
습도 40~80%RH
입력 전원 전압 단상 AC 200~240V(50/60Hz ± 2Hz)
소요 전력 1.5 kVA 2.0 kVA
질량 8kg

반응 생성물 대응형(온도 조절 기능 포함)도 준비할 수 있습니다