표준 사양
| 에볼루션 바카라※1 | TMP-V1704LM | |
|---|---|---|
| 흡입구측 플랜지 | VG200/ISO200B | |
| 에볼루션 바카라 측 플랜지 | KF40 | |
| 냉각 방법 | 수냉 | |
| 도착 압력(베이킹 후) | 10-7Pa 주문 | |
| Ar의 최대 허용 유량※2 ※3 | 600 mL/min | |
| N2연속 운전 시 최대 흡입구 압력 | 4.5 Pa | |
| N2연속 운전 시 최대 에볼루션 바카라 압력 | 200 Pa | |
| 배기 속도※4 | N2 | 1400 L/s |
| Ar | 1350 L/s | |
| 압축비 | N2 | 1×108이상 |
| He | 5×103 | |
| H2 | 9×102 | |
| 규정 회전수 | 33700 rpm | |
| 시작 시간 | 9분 이내 | |
| 설치 방향 | 전방위 장착 가능 | |
| 진동 [당사 측정 방법에 따른] | 0.01 μm 이하 (편진폭) | |
| 권장 가스 퍼지 유량※2 | 30 mL/min | |
| 가스 퍼지 시 권장 보조 에볼루션 바카라의 배기 속도 | 1500 L/min 이상 | |
| 허용 주변 온도 | 10~40℃ | |
| 허용 자속 밀도 | 반경방향 | 3 mT |
| 축 방향 | 15 mT | |
| 냉각수 | 유량 | 3~4 L/min |
| 수압 | 0.2 ~ 0.4 MPa | |
| 수온 | 19~30℃(노점 이상) | |
| 보기 | 램프 | POWER/STATUS/ROTATION/NET |
| 외부 제어 | 접점 입출력 | REMOTE(D-sub 37핀 암컷 |
| 입력: START/STOP/RESET/LOW SPEED | ||
| /BRAKE/NORMAL/REMOTE/ALARM/WARNING/CONNECTION | ||
| 직렬 인터페이스 | RS-232C / RS-485(D-sub 9핀 수컷 | |
| 회전 가변 | 에볼루션 바카라 규정 회전수의 25%~100% 사이 | |
| 입력 전원 | 전압 | 단상 AC 200~240V(50/60Hz) |
| 소요 전력 | 1.2 kVA | |
| 질량 | 60kg | |
- ※1: 제품에 의해 에볼루션 바카라가 고장날 가능성이 있으므로 부식성 가스를 흘리지 마십시오
- 1기압에서 체적 유량으로 표시 중
- '가스 퍼지 유량' 및 '에볼루션 바카라 압력'에 따라 달라집니다
- ※4:보호망이 없는 경우의 값입니다2가스에 대한 배기 속도는 1300L/s입니다