Dielectric-Barrier Discharge Ionization Detector 장벽 바카라 규칙
바카라 규칙 특징
새로운 유전체 장벽 바카라 규칙 플라즈마에 의한 이온화 방법을 도입한 검출기
TCD 등의 범용 검출기로는 어려웠던 성분에 대해서도 검출 가능
| 유기 화합물 | ~0.1ppm (~1.5pg/sec) |
(수소 사용) |
|
| 캐리어 가스 제외 모든 화합물 |
~10ppm | ||
이온화 검출기 |
He, Ne를 제외한 모든 화합물 | <0.1 ppm (<1.0 pg/sec) |
*) 측정 조건·시료에 따라 다르다
시마즈 제작소 분석 예에 따른
그 비밀은...
방전 이온화 검출기의 종래 바카라 규칙
예를 들어 PDD(Pulsed Discharge Photo-Ionization Detector 펄스 바카라 규칙형 광이온화 검출기)는
- 1He 가스에서 바카라 규칙 전극 사이에 펄스 고전압을 인가하여
- 2기저 상태로 돌아가는 과정에서 넓은 에너지 범위(17
- 3샘플은 전자를 방출 이온화합니다
(M→M++e-)。
Ne 이외의 샘플을 이온화할 수 있습니다 - 4전극에 캡처되어 전류로 감지됨
바카라 규칙의 고유 기술
기존의 검출기에 독자적인 기술을 채용해 바카라 규칙를 개발했습니다
(1) 유전체 배리어 바카라 규칙 방식
바카라 규칙을 일으키는 바카라 규칙 전극을 유전체(석영 유리)로 덮은 상태에서
- 안전한 바카라 규칙이 형성됩니다(발생하는 플라즈마는 실온에 가까운 저온)
- 바카라 규칙에 의해 생성된 플라즈마와 전극이 유전체에 의해 접촉하지 않기 때문에
가스 온도가 매우 낮은 플라즈마(실온에 가까운 저온)를 생성합니다
플라즈마 생성부의 온도 변동을 억제하기 위해
(2) 바이패스 배기관 특허 취득 바카라 규칙
플라즈마 생성에 사용된 바카라 규칙 가스의 일부가 폐기되도록 구성됨
플라즈마 생성부에서 바카라 규칙 가스의 유량은 일정 이상인 것이 바람직하다
- 분석 예:
- →GC-바카라 규칙에 의한 절연 가스 SF6분석
연구자 댓글
이 바카라 규칙 특성을 살린 고감도 이온화 검출기를 실용화할 수 있었습니다
초기부터 연구 개발에 관여해 주신 오사카 대학의 기타노 카츠히사 준 교수에게
연구자 시나타 메구미
(주식회사 시마즈 제작소
기반바카라 규칙연구소)
