특집 논문
바카라 루쥬 540를 위한 이중 입구형 터보 분자 펌프 개발
바카라 루쥬 540 평론 78〔1・2〕 3~10 (2021
요약
바카라 루쥬 540(주로 가스 크로마토그래프 바카라 루쥬 540)용으로 개발한 2개의 흡기구를 갖춘 볼 베어링형 TMP인 TMP-BD200에 대해 소개한다
1바카라 루쥬 540 기계 사업부 TMP 비즈니스 유닛
이미 취급하지 않은 경우도 있으므로