바카라 양방 논문
바카라 양방 기술을 이용한 미량 금속 불순물 모니터 개발
시마즈 평론 74〔3・4〕 177~183 (2018
요약
"레이저 유도 브레이크다운 분광법"(바카라 양방: Laser Induced Breakdown Spectroscopy)을 이용한 반도체 제조 공정을 위한 미량 금속 불순물 모니터 개발 및 제품화
웨이퍼 표면에 부착된 이물질이나 금속을 제거하기 위해서 행해지는 세정 공정에서 사용하는 세정액 중의 미량의 금속 원소를 검지해
향후 배포에 대해 신고
1바카라 양방 유닛 센서 및 바카라 양방 비즈니스 유닛
2바카라 양방부 센서·바카라 양방 비즈니스 유닛 박사(공학)
3기기 부품
4기반 기술 연구소 광기술 유닛
이미 취급하지 않은 경우도 있으므로