74[3·4](2017)
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시마즈 평론 74〔3・4〕 135~142 (2018

요약

시마즈 제작소에서는 에너지 분산형 형광 X선 분석 장치용 Si(Li)(실리콘 리튬) 바카라 사이트의 개발 기술을 응용
그 개발에 필요한 기술로서 4인치 Si 웨이퍼에 Li 드리프트를 실시하여 양호한 결과를 얻는 데 성공했다
지금까지 축적한 바카라 사이트·제조 기술을 살린 시마즈 제작소의 센서에 기대가 전해지고 있다


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