73[3·4](2016)
특집 바카라 양방기기

특집 논문

고속 스퍼터링 증착 장치를 이용한 애플리케이션 개발

해안 후문1요시오카 상규1

바카라 양방 평론 73〔3・4〕 123~128 (2017

요약

입체 형상으로의 회전도 양호한 금속 박막 성막을 실현할 수 있다


1바카라 양방 기계 사업부 사업 개발부

이미 취급하지 않을 수도 있으므로