73[3·4](2016)
특집 바카라 커뮤니티기기

특집 논문

바카라 커뮤니티 평론 73〔3・4〕 117~122 (2017

요약

글로우 방전을 이용한 플라즈마 CVD(Chemical Vapor Deposition) 장치나 자기장과 마이크로파를 이용한 ECR-CVD 장치

¹바카라 커뮤니티 기계 사업부 사업 개발부

이미 취급하지 않은 경우도 있으므로