62[1·2](2005)
바카라 루쥬 540 반도체·FPD·신소재의 검사/제조장치

바카라 루쥬 540 논문

바카라 루쥬 540 탑재 마이크로 포커스 X선 투시 장치 SMX-1000

國嘉夫1야마다 카츠오1타치자와 가히로1

시마즈 평론 62〔1・2〕35~40 (2005

요약

이 최첨단 반도체 및 실장 기판의 검사를 비파괴로 효율적으로 실시하기 위해 개발된 마이크로 포커스 X선 투시 장치 SMX-1000을 중심으로 소개


1분석 측정 사업부 NDI 비즈니스 유닛
※소속명은 바카라 루쥬 540 작성시의 것입니다

이미 취급하지 않은 경우도 있으므로