62[1·2](2005)
특집 라이브 바카라 조작·FPD·신소재의 검사/제조장치

라이브 바카라 조작 논문

최근 자기 부상 터보 분자 펌프

코자키 준이치로1

시마즈 평론 62〔1・2〕27~33 (2005

요약

최근 개발한 대배기 속도 대응 터보 분자 펌프와 고배압 대응 터보 분자 펌프의 2기종과 이들 펌프를 구동하기 위한 디지털 제어 방식의 전원 장치에 대해 소개


1라이브 바카라 조작 기기 사업부 기술부
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이미 취급하지 않은 경우도 있으므로