58[1·2](2001)
바카라 예측 프로그램 반도체·플랫 패널 디스플레이의 검사·제조 장치

바카라 예측 프로그램 논문

바카라 예측 프로그램용 DLC 보호막 성막 장치 및 프로세스 개발

아키타 노리타카1코니시 요시유키1고쿠라 신이치2

시마즈 평론 58〔1・2〕 59~66 (2001

요약

하드 디스크용 바카라 예측 프로그램 보호막용 복합 성막 장치(DLC-MR3)의 개발에 대해 보고

초박막(3 nm 이하)을 실현하기 위한 성막 프로세스 개발에 대해서도 실시해 왔다

그 일례로서 3nm DLC막의 밀착력 평가에 대해 소개


1산업기계사업부 기술부
2산업기계사업부 품질보증부
※소속명은 바카라 예측 프로그램 작성시의 것입니다

이미 취급하지 않을 수도 있으므로