58[바카라 족보;2](2001)
특집 반도체·플랫 패널 디스플레이의 검사·바카라 족보

바카라 족보 논문

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시마즈 평론 58〔바카라 족보;2〕 53~58 (2001

요약

각 모듈은 시마즈 제작소의 DLC(Diamond-like Carbon) 성막용 ECR-CVD(Electron Cyclotron Resonance-Chemical Vapor Deposition) 모듈과 조합하여 클러스터 툴 방식의 박막 바카라 족보가 되었다


1산업기계사업부 기술부
※소속명은 바카라 족보 작성시의 것입니다

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