바카라 족보 논문
이온 빔 증착 장치 개발
시마즈 평론 58〔바카라 족보;2〕 53~58 (2001
요약
각 모듈은 시마즈 제작소의 DLC(Diamond-like Carbon) 성막용 ECR-CVD(Electron Cyclotron Resonance-Chemical Vapor Deposition) 모듈과 조합하여 클러스터 툴 방식의 박막 바카라 족보가 되었다
1산업기계사업부 기술부
※소속명은 바카라 족보 작성시의 것입니다
이미 취급하지 않을 수도 있으므로