58[1·2](2001)
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바카라 사이트 논문

바카라 사이트형 터보 분자 펌프 개발

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시마즈 평론 58〔1・2〕 11~16 (2001

요약

진공 용기의 내부를 초고진공으로 배기하는 자기 베어링형 터보 분자 펌프를 제품화해 왔다

바카라 사이트 고속 배기에 대응할 수 있는 터보 분자 펌프의 요구가 높아졌기 때문에

목표 가스 배기 유량 특성을 실현할 수 있는지 검토할 수 있음

로터 온도를 줄이고 내식성을 향상시키는 분산 도금 기술 개발

새로 정격 회전 수 설정을 변경할 수 있는 기능 추가

전원 장치 모두 종래 기종에 비해 대형화하지 않고 바카라 사이트를 가능하게 한 것을 특징으로 한다


1산업기계사업부 기술부
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이미 취급하지 않은 경우도 있으므로