55[바카라 예측 프로그램;4](1998)
소특집 신소재·바카라 예측 프로그램의 분석·시험 II

바카라 예측 프로그램 논문

웨이퍼 이물질 조성 검사 장치 PARC-2408

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시마즈 평론 55[바카라 예측 프로그램;4] 249~258 (1999

요약

웨이퍼 이물질 조성 검사 장치 PARC-2408의 개요와 특징을 설명

이물질에 포함된 원소종의 동정 및 중량 농도까지를 검사할 수 있다

예를 들어 금속 Al과 산화물 Al(알루미나)을 구별하는 것도 가능하다

장치 단체 또는 바카라 예측 프로그램 공장 전체에서 사용되고 있는 DMS(Defect Management System) 등의 데이터베이스와 링크시킴으로써

1표면·바카라 예측 프로그램 기기부
2표면·바카라 예측 프로그램 기기부 공학
3소프트웨어 개발 센터
※소속명은 논문 작성시의 것입니다

논문 청구

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