55[모바일 바카라;4](1998)
소특집 신소재·모바일 바카라의 분석·시험 II

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BPSG 막 평가용 고주파 글로우 방전 발광 분석 장치의 개발

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시마즈 평론 55[모바일 바카라;4] 235~247 (1999

요약

고속·간편이라는 장점을 가진 글로우 방전 발광 분광 분석 장치(GDS)를 기반으로

절연막 및 LSI의 신뢰도에 영향을 미치는 수소도 측정할 수 있기 때문에


1기반 기술 연구소
2표면·모바일 바카라 기기부
3소프트웨어 개발 센터
※소속명은 모바일 바카라 작성시의 것입니다

이미 취급하지 않은 경우도 있으므로