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ECR 플라즈마 CVD 법에 의한 DLC 막의 성막과
하드 디스크 장치용 헤드에 적용
하드 디스크 장치용 헤드에 적용
인터넷 바카라 54〔2〕 135~142 (1997.8)
요약
DLC 막은 경도, 내마모성, 내식성, 내전압 특성, 내절연성 및 화학적 안정성 등이 뛰어난 특성을 가지며 고기능 재료의 하나로 주목받고 있다. 저자들은 절연 기판에도 성막 가능한 RF 바이어스 ECR 플라즈마 CVD법에 의해 원료 가스에 에틸렌을 사용하여 DLC
1생산 기술 연구소 반도체 제조 기술 개발 센터 건설
2산업 기계 사업부 산업 기계 제조부
3항공기기 사업부 항공기기 공장 박람회
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