유기 EL 등 현재 주목받고 있는 분야에 사용되고 있는 ITO 필름의 연구·개발에 최적인 아바타 바카라링 장치를 제공하고 있습니다
| 풋프린트 | W2420×D1230(높이 1550mm) | ||
|---|---|---|---|
| 사양 | 아바타 바카라 성능 | 형성막 | 비자성 금속, 투명 도전막 등 |
| 막 두께 분포 | □100mm내±5%이하(ITO막 두께 100nm에서) | ||
| 시트 저항 분포 | □100mm내±5%이하(ITO막 두께 100nm에서) | ||
| 시트 저항 | 50Ω/□ 이하(ITO 막 두께 100nm에서) | ||
| 아바타 바카라 방식 | 아바타 바카라업 | ||
| 방전 모드 | 고주파 또는 DC 마그네트론 방전(중첩 가능) | ||
| 타겟 | 4인치 3개 | ||
| 아바타 바카라 가스 | Ar,O2 | ||
| 기판 크기 | 125mm×125mm×0 | ||
| 기판 가열 | 최고 온도 | 350℃ | |
| 온도 분포 | 100~300°C에서 ±5°C 이내 | ||
| 기판 회전 | 20rpm | ||
| 도착 압력 | 아바타 바카라실 | 0×10-4Pa 이하(상온·무부하) | |
| 배기 시간 | 아바타 바카라실 | 대기압에서 10Pa까지 2분 (상온·무부하, N2 누설시) |
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| 아바타 바카라실 | 3×10-3Pa까지 1시간 이내 (상온·무부하, N2 누설시) |
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| 조작 모드 | 자동 모드 및 수동 모드 | ||
| 전원 | φ3 AC200V 50/60Hz 13kVA | ||