HSR-351L(로드록식)
HSR-351
| 형성막 | 금속 재료, 절연물 |
|---|---|
| 막압 분포 | 회전 시 φ100mm내 ±5% 이내 |
| 정지 시 φ40mm내 ±10% 이내 | |
| 바카라 양방 방식 | 디포업 |
| 전극간 거리 | 70~110mm |
| 타겟 홀더 | φ2인치×3 |
| 히터 | MAX300℃ |
| 기판 회전 | MAX20rpm |
| 가스 도입 시스템 | Ar용 MFC 1 계통 |
| 바카라 양방 전원 | 13.56MHz 200W |
HSR-351L(로드록식)
HSR-351
| 형성막 | 금속 재료, 절연물 |
|---|---|
| 막압 분포 | 회전 시 φ100mm내 ±5% 이내 |
| 정지 시 φ40mm내 ±10% 이내 | |
| 바카라 양방 방식 | 디포업 |
| 전극간 거리 | 70~110mm |
| 타겟 홀더 | φ2인치×3 |
| 히터 | MAX300℃ |
| 기판 회전 | MAX20rpm |
| 가스 도입 시스템 | Ar용 MFC 1 계통 |
| 바카라 양방 전원 | 13.56MHz 200W |