- 견고하고 컴팩트한 베어링 타이브 터보 분자 펌프와 GDH 시리즈 로터리 펌프를 결합한 바카라 족보
- 연구 설비에의 응용 등 고바카라 족보 환경에 필요한 다양한 용도에 대응할 수 있기 때문에
<특징>
- 컴팩트한 디자인
- 간단 조작 RUN 버튼을 원 푸시로 자동 바카라 족보
- 외부에서 원격 조작 가능
- 장치에 내장된 사용에도 최적
- TMP 배압 보호 기능 포함
- 확장성으로 외부 기기의 조작 및 모니터 가능
※사진은 옵션:강제 공냉 사양
장치 외형 치수 | W500×D550×H490mm(캐스터 부착 가대) | |
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사양 | 도달 압력(참고값) | 10E-6Pa 주문 |
주 펌프 | 공냉식 터보 분자 펌프 TMP-B300(시마즈 제작소) | |
바카라 족보 속도 280L/s (N2) | ||
보조 펌프 | 오일 회전 바카라 족보 펌프 | |
바카라 족보 속도 135L/min(50Hz) 160L/min(60Hz) | ||
배압 모니터링 | TMP 배압 모니터링 모니터 포함 | |
조작 모드 | 내부/외부 조작 전환 가능 | |
유틸리티 | 전원 단상 100V 50/60Hz 1kVA) | |
선택품 |
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