봉빙법에 의한 반도체·전자 부품인 수정 진동자
SAW 필터 및 광통신 장치 패키지의 기밀 시험용 인라인 검사기입니다
성능 및 사양
| 라이브 바카라 조작 감도 | 10-13~100Pa·m3/s[He] |
|---|---|
| 합격/불합격 판정 누설량 | 2.5×10-10Pa·m3/s[He] |
| 택트 타임 | 6초대(건조 질소 배출시) |
| 라이브 바카라 조작관 | 270° 편향형(자장 편향 자속 밀도 0 이트리아 코트 이리듐 필라멘트(2개 내장) 온도 보정 자동 튜닝 감도 교정 |
| 진공 시스템 | 모레큘러 드래그 펌프(배기 구조 70L/s) 오일 회전 진공 펌프(30L/min 50Hz) 대용량 오일 회전 진공 펌프(1080L/min 50Hz) 피라니 진공계(2계통) |
| 테스트 챔버 | 300cc[Φ80×H60](시료 바구니 부착) |
| 라이브 바카라 조작 | 본체 약 260kg |
| 전원 | 삼상 AC200V±10% 50/60Hz |
| 입출력 | RS-232C 인터페이스 EXT-UNIT 인터페이스(외부 장치) |
외형 치수
