장치 유지보수에서 장치 임베디드 애플리케이션까지 광범위하게 대응
클린룸에 최적인 비접촉식 구조 드라이 펌프가 장착된 휴대용 범용기
성능 및 사양
| 바카라 규칙 감도 | 10-13~100Pa·m3/s[He] |
|---|---|
| 바카라 규칙 가스 | 수소/헬륨 |
| 바카라 규칙관 | 270° 편향형(자장 편향 자속 밀도 0 이트리아 코트 이리듐 필라멘트(2개 내장) 온도 보정 자동 튜닝 감도 교정 |
| 진공 시스템 | 모레큘러 드래그 펌프(배기 구조 70L/s) 비접촉식 구조 건식 진공 펌프(250L/min) 피라니 진공계(2계통) |
| 테스트 포트 | 최대 압력 1000Pa 연결 포트 NW25KF 헬륨 배기 속도 3L/s |
| 질량 | 본체 약 68kg(바카라 규칙2) |
| 전원 | 단상 AC100/110/115/120/200/220/230/240V ±10%, 50-60Hz, 700VA 중 하나를 주문할 때 하나 지정 |
| 입출력 | RS-232C 인터페이스 EXT-UNIT 인터페이스(외부 장치) |
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