캐스케이드 제어(바카라 무료)

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특징

  1. 승온 지연 개선
    보다 처리물 온도에 가까운 온도에서 제어 가능

    · 제어 온도와 처리 온도의 오프셋이 완화됩니다

적용

  • 시마즈 진공로

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  1. 바카라 무료부 온도를 Master 조절계에 피드백
  2. Master 조절계가 설정 온도와의 온도차를 보정
  3. Master→Slave로 보정 신호 전달
  4. 바카라 무료 외부 온도(히터 존)를 슬레이브 조정계에 피드백
  5. 바카라 무료 외부 온도와 슬레이브 설정값의 보정 신호가 각 사이리스터에 출력 지시

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